摘要：時(shí)間延遲積分電荷耦合器件(TDI CCD)主要應(yīng)用于弱光信號(hào)探測(cè),其在強(qiáng)光應(yīng)用場(chǎng)合容易出現(xiàn)彌散現(xiàn)象。針對(duì)該問(wèn)題,研制了橫向抗彌散多光譜TDI CCD圖像傳感器。該器件包含四個(gè)多光譜段(B1~B4區(qū)),有效像元數(shù)為3 072元,像元尺寸為28μm×28μm。大像元可以在弱光環(huán)境下提供良好的光譜區(qū)分能力,通過(guò)濾光片可獲得藍(lán)光、綠光、紅光和近紅外波段的圖像。為了減小抗彌散對(duì)器件滿阱電子數(shù)的不利影響,采用了緊湊的抗彌散結(jié)構(gòu),僅占像元面積的7.1%。器件滿阱電子數(shù)為500ke-,抗彌散能力為100倍,讀出噪聲小于等于70e-,動(dòng)態(tài)范圍大于等于7143∶1。