摘要:多晶硅定向凝固過程中,凝固速率是影響產(chǎn)品品質(zhì)的重要參數(shù),但卻難以直接測量。本研究基于定向凝固過程中的熱平衡關(guān)系,建立了凝固速率計算模型,研究了溫度對凝固速率的影響。結(jié)果表明,凝固過程中液固相內(nèi)溫度梯度比值存在規(guī)律性的變化趨勢,通過該模型獲得的凝固速率理論值與實驗測量結(jié)果吻合度較好,可以為多晶硅定向凝固過程中凝固速率的評估和調(diào)控提供支撐。
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