摘要：利用掃描電鏡、能譜儀、拉力-剪切力測試儀等研究了不同鍍Au厚度的鍍Au鍵合Ag線Free Air Ball(FAB)特性和不同力學(xué)性能的鍍Au鍵合Ag線對(duì)鍵合強(qiáng)度及其可靠性的影響規(guī)律,研究結(jié)果表明:鍍Au鍵合Ag線鍍層厚度過小會(huì)造成Electronic-Flame-Off(EFO)過程中的FAB偏球及球焊點(diǎn)形狀不穩(wěn)定,鍍層厚度過大會(huì)導(dǎo)致FAB變尖;高強(qiáng)度、低伸長率會(huì)造成焊點(diǎn)頸部產(chǎn)生裂紋而造成焊點(diǎn)的拉力偏低并在頸部斷裂,低強(qiáng)度、高伸長率引起頸部晶粒粗大進(jìn)而降低頸部連接強(qiáng)度;鍍Au鍵合Ag線頸部應(yīng)力集中或內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)不均勻,在冷熱沖擊周期性形變作用下,球焊點(diǎn)頸部產(chǎn)生裂紋并引起電阻增加,進(jìn)而導(dǎo)致器件失效.