摘要：在高純電子級四氟化硅生產與純化中,很容易產生氟硅醚雜質,甚至可以與四氟化硅進一步聚合生成氟硅醚高聚物。該高聚物可從膠體迅速聚集成顆粒,很容易堵塞管道和吸附劑,極易發(fā)生安全事故。根據硅醚鍵氟化斷裂的化學性質,設計了一系列基于金屬氟化物組成的氟硅醚阻聚劑。結果顯示,AgF2阻聚劑具有阻聚熱力學效率高、動力學速率快的特點,可以使氟硅醚雜質有效控制濃度在20×10^-6以下。四氟化硅重復50次(每次用量10kg)通過AgF2阻聚劑仍然具有優(yōu)秀的阻聚性能,故該阻聚劑具有良好的長期穩(wěn)定性。