摘要：傳統(tǒng)光譜成像系統(tǒng)采用探測(cè)器與傳統(tǒng)分光元件耦合的方式,體積較大、定制化能力不足。微/納光機(jī)電系統(tǒng)的快速發(fā)展,為微型化光譜成像系統(tǒng)提供了解決途徑。基于表面等離激元學(xué)和光學(xué)超表面的微納濾波結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)像素級(jí)的光場(chǎng)調(diào)控,有望替代傳統(tǒng)濾波器件并具有與成像系統(tǒng)片上集成的潛力。近年來(lái),集成了動(dòng)態(tài)或靜態(tài)濾波結(jié)構(gòu)的光譜成像微系統(tǒng)已嶄露頭角,逐漸構(gòu)建起全新的光譜成像方法,但在原理機(jī)制、器件性能、制造成本、集成裝配工藝等方面還有許多需要攻克的難題。本文綜述了國(guó)內(nèi)外在像素級(jí)微納濾波結(jié)構(gòu)、濾波和成像器件的集成制造和裝配等方面的研究進(jìn)展,梳理了光學(xué)濾波-探測(cè)集成器件的發(fā)展脈絡(luò),探討了其局限性并展望了發(fā)展趨勢(shì)。