摘要：根據(jù)激光光線聚焦?fàn)顟B(tài)不同對應(yīng)被測面上激光光斑形狀不同的特點(diǎn),通過引入輔助激光束,分析了調(diào)焦CCD采集的激光光斑圖像信息,進(jìn)而根據(jù)光斑形狀及半徑等信息確定被測面對焦?fàn)顟B(tài)。針對實(shí)驗(yàn)中每隔相同離焦距離采集的一系列光斑圖像,提出了相應(yīng)的圖像處理方案,以提取所需光斑半徑信息,進(jìn)而進(jìn)行光斑半徑與離焦量轉(zhuǎn)換。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,光斑半徑與離焦量呈線性關(guān)系,最大線性范圍靈敏度為2.342像素/μm,最高可實(shí)現(xiàn)0.43μm分辨率。