摘要：探討高溫化學(xué)腐蝕加工SiC陶瓷工藝參數(shù)對加工質(zhì)量的影響,分析SiC陶瓷的腐蝕機(jī)理。分別用失重法和Archimedes法測量試樣的腐蝕速率和氣孔率;用XRD、SEM、粗糙度測試儀對試樣表面的形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征。結(jié)果表明:隨著溫度和KOH濃度升高,腐蝕速率加快,溫度高于堿溶液沸點(diǎn)時(shí),腐蝕效果顯著提高;堿溶液濃度過高會(huì)造成氣孔率下降,升高溫度可減緩氣孔率下降;在優(yōu)化的工藝參數(shù)下,高溫化學(xué)腐蝕能夠降低樣品粗糙度,最低約為1.6μm;表面質(zhì)量得到改善,輪廓支承長度率Rmr提高,Rmr(50%)達(dá)到89.70%;腐蝕溫度過高或時(shí)間過長將造成晶粒脫落,導(dǎo)致表面質(zhì)量大幅下降;此外,與機(jī)械加工試樣相比,高溫化學(xué)加工后的樣品未出現(xiàn)裂紋,表面經(jīng)簡單清洗無反應(yīng)物殘留。