摘要：針對(duì)激光晶體生長(zhǎng)后期晶體生長(zhǎng)爐溫度上漂導(dǎo)致晶體不能維持等徑生長(zhǎng)的問(wèn)題,采用一種基于自適應(yīng)學(xué)習(xí)率優(yōu)化算法改進(jìn)BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)與經(jīng)典PID控制技術(shù)相結(jié)合的方法應(yīng)用到晶體生長(zhǎng)控制過(guò)程中,通過(guò)改進(jìn)的BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的自學(xué)習(xí)以及調(diào)整加權(quán)系數(shù),實(shí)現(xiàn)一種由BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)整定的最佳PID控制。通過(guò)MATLAB/Simulink仿真對(duì)比表明,改進(jìn)的BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制算法較傳統(tǒng)PID控制方法具有較好的控制性能和魯棒性,能夠有效克服晶體生長(zhǎng)爐的溫漂問(wèn)題,更好地保持晶體等徑生長(zhǎng),提高了控制精度。