摘要：基于仿生學原理,設計了一種仿側(cè)線神經(jīng)丘的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)矢量水聽器。該水聽器采用環(huán)形纖毛模擬魚類側(cè)線神經(jīng)丘中的纖毛束與膠質(zhì)頂,通過4個十字梁與集成在梁上的壓敏電阻將聲信號轉(zhuǎn)換為電阻變化量,由電阻構(gòu)成Wheatstone電橋?qū)㈦娮枳兓哭D(zhuǎn)換為電壓信號。使用ANSYS軟件對水聽器結(jié)構(gòu)進行了仿真,得到環(huán)形纖毛的結(jié)構(gòu)參數(shù)。制作了水聽器樣機,通過比較校準法進行測試。測試結(jié)果表明該水聽器帶寬為20~1 000 Hz,靈敏度達到了-179.81 dB@1 kHz,在帶寬內(nèi)較單個十字梁與纖毛結(jié)構(gòu)的纖毛式矢量水聽器平均提高了15.55 dB,測試結(jié)果與仿真結(jié)論基本一致。