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摘要：采用垂直掃描系統(tǒng)是離子注入機最常用的掃描方式之一,著重闡述了一種大行程垂直掃描系統(tǒng)的系統(tǒng)構成、設計思路和實現方法。經過實際使用證明,該系統(tǒng)提高了離子注入機機械掃描的可靠性和穩(wěn)定性。
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