摘要：為解決氣相沉積法制備材料過(guò)程中腐蝕性液體液位測(cè)量問(wèn)題,基于液柱透鏡成像原理,設(shè)計(jì)了高精度耐腐蝕的光電透射式液位測(cè)量?jī)x。論文給出了液位測(cè)量?jī)x的基本工作原理及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、重點(diǎn)分析了液位特征提取算法的設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)過(guò)程。設(shè)計(jì)的液位測(cè)量?jī)x能夠滿(mǎn)足透明、半透明、不透明液體的液位測(cè)量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,液位特征提取算法能準(zhǔn)確識(shí)別液滴、液滴串、氣泡段等異常影響。液位測(cè)量?jī)x能在溶液結(jié)晶等較復(fù)雜工況下正常工作,并且其測(cè)量分辨率達(dá) 3.5 μm,靜態(tài)測(cè)量誤差小于0.02 mm,單個(gè)測(cè)量頭量程為 52.5 mm,有較好穩(wěn)定性,非接觸式測(cè)量,耐腐蝕,可小型化,能夠滿(mǎn)足較高精度液位測(cè)量需求。