摘要：針對(duì)彩膜小尺寸高分辨率平板電腦產(chǎn)品的曝光基臺(tái)色斑(Stage Mura)不良,對(duì)異常區(qū)域各項(xiàng)特性進(jìn)行分析,發(fā)現(xiàn)Mura區(qū)域的黑矩陣(BM)的關(guān)鍵線寬(CD)和坡度角形貌與正常區(qū)存在異常。推測(cè)原因?yàn)槠毓鈺r(shí),不良區(qū)域與正常區(qū)域曝光溫度和曝光間隙存在差異,并進(jìn)行試驗(yàn)驗(yàn)證。將曝光溫度和曝光間隙進(jìn)行調(diào)整試驗(yàn)后,使用掃描電子顯微鏡(SEM)分析黑矩陣關(guān)鍵線寬(BM CD)和坡度角,確認(rèn)改善措施能減少正常區(qū)域和Mura區(qū)域BMCD和坡度角差異,不良發(fā)生率由7.2%降低為1.4%。進(jìn)一步調(diào)整BM膜厚,從整體上弱化正常區(qū)域和Mura區(qū)域的透過(guò)率差異,最終基臺(tái)色斑不良率降低至0.7%。