摘要：應(yīng)用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS),對多晶硅料塊表面金屬雜質(zhì)Fe,Cr,Ni,Cu,Zn,Na,元素進行檢測。本文研究了樣品的處理方法,確定了適宜的實驗條件,使用該方法能準確、快速的檢測多晶硅表面的金屬雜質(zhì)含量,適用于商用實驗室中的檢測,符合企業(yè)中工業(yè)化的檢測需求。其檢測方法對多晶硅中的金屬雜質(zhì)Fe,Cr,Ni,Cu,Zn,Na,元素的檢出限達到0. 01ng/g左右,精密度較好,Fe的加標溶液的回收率為90!109%,滿足痕量雜質(zhì)檢測的要求。